DuPont™ Kalrez® 과불소 고무제품은 30년 이상 매우 어려운 밀봉 환경에서도 그 성능을 검증받았습니다. 당사의 제품들은 플라즈마, 고열 및 공격적(aggressive) 화학약품을 사용하는 태양광 공정에서 밀봉 신뢰성 향상에 효과적이며. Kalrez® 씰링은 반응가스와 플라즈마, 알칼리, 산성 및 용제를 포함하여 1,800개 이상의 화학약품에 내성을 가지고있습니다. 칼레즈 씰링은 이러한 부식성 화학약품들과 접촉해도 325°C의 고온에서 고무의 특성을 유지합니다.

Kalrez® 씰링은 다음을 구현하는 것으로 입증되었습니다.  

• 반응가스와 플라스마, 알칼리, 산성 및 용제를 포함하여 공격적(aggressive) 화학약품에 대한 우수한 내성

웨이퍼 기반 또는 박막 공정에서, Kalrez®는 다음에 효과적입니다. 

• 씰링수명향상
• 씰링제의 교체주기 연장
• 전체관리비용절감

Zalak® 고성능 씰링

DuPont™ Zalak® 씰링은 Kalrez® 에비해 저렴한가격으로 또 하나의 효과적인 씰링제입니다.

Zalak® 5300 씰링은 플라즈마 내성이 우수하며 아래와 같은 특성을 가집니다.

• Dry process 화학약품에 대한 우수한 내성
• 탁월한 compression set
• 탁월한 anti-sticking 특성
• partilce 발생이 없슴